二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9242345 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款下一代光阻设备，能够提供超精确、超快速、低成本的光刻技术，以实现高性能的集成电路模式和晶圆处理。TEL MARK7系统旨在支持先进的电路设计和最先进的处理技术,以满足当今要求苛刻的半导体制造需求。TOKYO ELECTRON MARK-7利用最新的漫射照明技术，提供超锐利、精确的图桉和正面对准。该单元配备了高性能激光干涉仪，以确保掩模和晶圆在整个过程中的超精确对准。使用TOKYO ELECTRON MARK7,即使是最难制图的掩模也能以优异的性能一致生成。该机还采用了高精度、高速的制图工具，以缩短曝光时间。MARK-7具有内置的Collimator透镜,可产生更大的焦深,以最大程度地减少模式不对准。TEL MARK-7还包括用于精确曝光后计量和调整的自动计量和调整资产（AMAS）。该模型提供精确的晶圆定位和对准，以尽量减少底切和过度蚀刻。AMAS还通过使用快速扫描光学器件简化了曝光过程中的模式检查和缺陷检测。设备还包括各种功能，以加强过程控制和降低维护成本。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7拥有一个功能强大的软件工作站MAGIC （TEL Mark 7 Graphical Interface Control, TEL Mark 7 Graphical Control）软件,可简化操作并实现更简单、更快速的设备设置。此外,系统还内置了控制和摄像头,可监控整个过程,提高过程稳定性,减少颗粒引起缺陷的发生率,并提供快速反馈信息。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7单元旨在为最新集成电路提供精确、快速、经济高效的光刻胶处理。Mark 7凭借其先进的照明、正面对准机、自动计量和对准工具以及MAGIC软件，能够生产出具有高维精度和均匀性的世界级设备图样。