二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244864 待售
网址复制成功！
单击可缩放
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款用于光掩模製造工业的全自动处理设备。该系统采用高度先进的技术,能够以最短的曝光时间实现精确的阵列设计结果。其自成一体的激光烧蚀单元和电子板提供了一套全面的功能。该单元的集成设计确保了简单的操作和维护。TEL MARK7使用全自动蒙版选择器来选择适合所需打印模式的最佳曝光性能参数。这样可以确保为卓越的图像处理提供精确的掩模准备。该机的特色是其专有的膜腐蚀层去除子系统。这一特性允许快速、高效地烧蚀光刻和蚀刻。腐蚀层去除子系统是实现全电脑化掩模制造的最有效技术之一。TOKYO ELECTRON MARK-7的膜对膜曝光模式消除了晶圆或种子层在曝光过程中的任何运动。这是通过"斜坡"曝光过程实现的，在该过程中，曝光时间上下倾斜，以控制强度并形成统一的曝光覆盖范围。这意味着在基板的后续层中不会有任何差异地暴露掩模模式。该工具的高精度晶圆机械手确保激光模块的精确聚焦和对准。激光用于精确修改和塑造基板中可能存在的任何残留表面缺陷或划痕。晶圆机械手还确保激光运动的可控性和精确度足以暴露和发展光滑边缘的图样。资产的显微镜单元允许晶片上的缺陷被精确识别，以尽量减少基板损坏并产生更精细的图样。TEL MARK-7是一种最先进的处理模型,它允许易于使用的自动蒙版制作过程。其独特的功能提供了所有面罩制作领域的最高精度，同时降低了成本和时间。这些特性使得TOKYO ELECTRON MARK 7成为光掩模製作业中极有价值的工具。
还没有评论