二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244883 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7（TEL MARK7）是为光刻和其他光刻工艺设计的世界级光刻设备。它结合了先进的电机控制技术、热控工艺头设计、超精密光学和独特的晶圆座设计，创造了一个高度精确可靠的系统。该单元具有集成加载功能，允许用户自动加载晶片并监控整个过程。TOKYO ELECTRON MARK-7能够在光刻过程中检测和纠正任何过量暴露，同时控制抗蚀剂模式，从而提高产量。该机具有强大的景深几何畸变校正算法，能够以高达2/1000的精度执行图像评估。它还使用先进的激光扫描工具进行涂层、对准和测量，从而实现了高度的精度。MARK-7有几个先进的特点使它在人群中脱颖而出。资产使用专有的高性能光学器件，使其比其他常规系统具有更高的准确性。它采用了先进的三维倾斜控制技术和最先进的伺服驱动器,以最高的精度而设计。TOKYO ELECTRON MARK 7还有一个独特的特性，允许脉冲激光束能量恢复，这实质上有助于通过利用内置的主动冷却模型来减少底物失真。此外，该设备采用模块化设计，简化了维护和升级程序。它的高效和快速的操作也使系统能够通过要求最低的生产成本而保持经济。该设备可持续使用,并且由于其内置诊断程序,在发生任何故障时,用户将更早收到警报。综上所述,Mark 7是一款高级光刻机,与其他系统相比具有许多优势。它配备了先进的电机控制技术、精密光学、晶圆座设计，提高了精度和效率。它的模块化设计使维护和升级更加容易,而其内置诊断功能提高了工具的可靠性和寿命。
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