二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9247333 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款光刻设备。该系统允许用户使用液基或气基抗蚀剂在基板上沉积一层光致抗蚀剂。在光致抗蚀剂单元中,光致抗蚀剂暴露于光。当光撞击光刻胶时,它会改变化学结构,使某些部分变暗。这样可以将其蚀刻到基材中。TEL MARK7机是专门为那些寻求高精度和高效沉积过程的人而设计的。TOKYO ELECTRON MARK-7光刻工具配备了TEL高级控制器资产TOKYO ELECTRON Vision-PGC。这种控制器模型的设计允许用户以不同的阶段来控制和监测光刻胶的沉积过程。视觉-PGC控制器还配备了一个自动化的光刻胶刷子,将抗蚀剂精确地沉积到微小的缝隙和其他难以到达的区域。该设备还设计用于跟踪和记录沉积层在大面积上的厚度、均匀性和光刻胶表面均匀性。先进的TEL/TOKYO ELECTRON Vision-PGC控制器还允许用户设置各种参数,如要覆盖的面积大小、沉积层厚度、沉积速度以及要沉积的图样等。此外,控制器系统还允许用户根据需要修改参数。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7单元还提供沉积前对底层的精确测量和相应控制。这有助于用户精确控制光刻胶层而不产生任何差异。机器还具有内置的边缘覆盖功能,有助于避免在基板上留下任何未涂布的区域。MARK-7光敏工具是电子制造的重要工具。该资产配备了强大的控制器模型,允许用户管理光刻胶的沉积过程以及其他参数,最终得到一个精确的沉积层。该设备可为用户提供精确高效的将光刻胶沉积在基板上的工艺。
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