二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9247370 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款光刻设备,用于开发光刻电子零件。该系统采用高度先进的深紫外光刻技术,在小型器件和基板上产生高长宽比、高分辨率特征。事实证明,TEL MARK7单元是开发需要高度精确度和精确度的电子零件的可靠且成本效益高的工具。在光刻过程中,使用机器、光刻胶或抗蚀剂涂层会受到正确波长的辐射。辐射可以由内置在工具中的源提供,也可以由外部光源提供,如激光。光致抗蚀剂随后发生化学反应,并在暴露于光的区域中变硬。经过开发后,硬化的光致抗蚀剂在基板上起到保护层的作用,防止在不需要的区域蚀刻。TOKYO ELECTRON MARK-7资产包括一个8英寸的扫描头,其景深可达4微米。它能够产生低至1微米的分辨率,并提供各种曝光参数来控制阵列特征。为了提高准确性和吞吐量,模型包括执行同时曝光和开发过程的能力。此外,该设备还包括先进的预先检查功能,允许在光刻胶暴露于所需光线之前对其进行测试。这允许用户在过程的早期快速识别任何潜在的错误,并降低出现缺陷的风险。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7系统旨在提高生产时间和降低总体成本。此外,该单元与许多基材和材料兼容,非常适合广泛的应用。机器的用户界面易于使用,在整个光刻胶开发过程中提供全面的支持和帮助。
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