二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352784 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蚀剂设备是用于制造微电子器件的最先进的高分辨率光刻工具。它是一种生产质量工具，利用先进的光刻技术小规模地产生精确的电子电路。该系统采用了光学、背景光曝光和图像图样技术的复杂组合。它有一个350毫米宽、350毫米深的基板卡盘，可以静电结合标本进行加工。该装置还能够在广泛的温度范围内进行可控的加热和冷却，从而最大限度地提高其在加工各种基板方面的多功能性。该机具有先进的前端处理能力，如Reticle Preview Correlative Analysis （RPCA）、X-Y阶段移动控制、Spin End、Edge Treatment和Post Exposure Bake （PEB）。这些功能可以可靠地产生高保真度和最小缺陷的图样图像。TEL MARK7还配备了用于监测和数据分析的高级软件。首先，激光源图像测量工具（LSIMS）可用于上下文敏感测量和实时过程监测。它还包括电光校准（EOC），通过校准光学模型帮助确保资产的准确性和可靠性。此外,残余图像分析（RIA）功能允许自动检测打印图像中的小错误或缺陷。该设备还具有一个直观的用户界面,允许高效操作而不会出错。此外,它的模块化设计使其易于集成到生产线中,从而减少了停机时间并改善了工艺流程。TOKYO ELECTRON MARK-7是一个高度可靠的系统，可以产生无与伦比的精确度和精确度的小型电子元件和特性。