二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9399016 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是为制造半导体器件而设计的光刻加工设备。它是一种紧凑且高度自动化的工具，用于创建高精度和高容量的光刻胶图桉。该过程从在基板上应用光刻胶开始。这是由水平旋转涂层完成的，提供晶圆表面上光刻胶的均匀覆盖。然后用热板烘烤施加的光刻胶，将其牢固地固定在基板上。然后,光刻胶系统用包含所需图样的光掩模照亮基板。一种特殊的照明机制确保了面罩的最佳辐照度，并简化了过程。一个集成的VUV照明设计为最大的稳定性和最佳的图像精度代表了单位的重要组成部分。将基材暴露后，机器用一种特殊类型的溶剂冲洗掉不需要的光致抗蚀剂。这通常是使用汽化的碳氢化合物浴来完成的，这个过程称为RIE（反应性离子蚀刻）。然后开发出裸露和洗涤过的基材。使用专有的显影液除去任何剩余的光致抗蚀剂。该工具经过校准，以确保晶片的均匀发展，并消除残留物的形成。晶圆一经研製，便转移至乾燥模组。此模块使用主动干燥工艺,允许光阻剂在表面上均匀且一致地分布。干燥阶段是保持模式和实现高产所必需的。TEL MARK7光致抗蚀剂处理资产是创建高精度和高产纳米光致抗蚀剂图样的重要工具。它可靠、性价比高，采用尖端技术使其成为许多半导体企业的标准工具。