二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9409177 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蚀剂设备是一种在半导体晶片上处理光抗蚀剂薄膜的全自动、高精度系统。利用先进的控制单元和专有算法对薄膜材料进行高精度的处理。该机具有精密薄膜应用臂和激光光学高分辨率扫描装置，可检测沉积薄膜厚度并分析厚度分布。它还提供温度控制功能，以确保膜厚度和温度一致。光敏工具可以分两步将薄膜处理到晶片上。第一种是薄膜涂层，其中薄膜材料通过应用臂在单个通道中沉积到晶片上，然后是光致抗蚀剂处理步骤。采用激光高分辨率扫描装置，分析了薄膜的厚度分布，并相应地调整了沉积。然后可以检测沉积膜的厚度，分析厚度分布，然后再将光敏材料转移到晶片上。资产还包括提供薄膜材料一致处理的温度控制功能。此功能可用于确保整个加工过程中薄膜厚度和温度均匀。温度控制对于获得稳定、高质量的薄膜非常重要。薄膜层使用放置在晶片上方的光刻面膜进一步处理。然后使用高功率激光器开发光敏材料。这一过程之后是涂层步骤，其中晶片暴露在溶液中，使光致抗蚀剂材料有选择地去除晶片上不需要的材料。模型还可以通过蚀刻来处理薄膜,在这种情况下,不需要的材料会从晶片上蚀刻出来。此外，还可以对微观特征进行细间距分析。TEL MARK7光刻设备对半导体晶片上的薄膜进行可靠、准确的处理。它配备了先进的控制系统和专有算法，可以对薄膜材料进行一致、高精度的处理。通过温度控制，保证了薄膜厚度和温度的均匀，提高了加工稳定性。此外，该单元还可以方便地进行精细螺距分析，能够检查晶圆上的微小特征。