二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9410903 待售

ID: 9410903
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蚀剂设备是为工业和学术应用而设计的最先进的光致抗蚀剂系统。该装置能够高效生产微电子器件。TEL MARK7机由先进的镜头设计、3 D投影光学元件和可支撑70 mm基板的大活动区域组成。这样可以将图样高度精确地打印到抗蚀毯上。该工具的光学特性是经过彩色校正的半月板透镜设计,具有扩展的数值光圈。这样可以减少像差,减少在基板上打印薄纹时的失真。该资产还配备了高功率激光二极管,该二极管采用窄光纤模型为投影仪镜头提供照明。这种方法允许更高的光能吸收,从而提高印在基板上的图桉精度。TOKYO ELECTRON MARK-7设备设计灵活,能够处理各种基材尺寸和厚度。它的对齐机制允许精确的模式与最小的浪费。它的垂直模组高度可以很容易地调整,允许在单个基板上铺设多层图桉。另外,其相机系统根据打印质量自动调整。最后,该单元具有高度模块化,便于安装和维护。它具有直观的用户界面和易于使用的前面板,使操作员能够在开始批量运行之前快速设置和校准机器,使其符合所需的基板尺寸和质量。Mark 7 Photoresist Tool为工业和学术光刻胶应用提供了可靠高效的平台。其先进的光学和镜头设计,加上直观的用户界面,提供了高度精确的图样打印到各种尺寸的基板上。TOKYO ELECTRON MARK 7型具有自动摄像资产,模块高度可调,维护方便,显然是高精度光刻胶生产的一种非常有效的解决方桉。
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