二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D #9290537 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D
ID: 9290537
晶圆大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 2D光阻设备是一种化学、机械和光学系统,用来製造图样和结构,作为各种基板上集成电路的基础。该设备具有创建多个曝光层和对其创建的模式的精细结构进行多层次控制的能力。机器的核心是紫外线激光成像仪,能够对基板表面进行超精确的改变。激光成像仪与可编程相移掩模耦合,可控制抗蚀剂材料在基板上的蚀刻和沉积。组合后,这些元件允许操作员使用光刻工具精确控制在基板表面上形成的图桉的几何形状。为了进一步最大限度地控制制图过程,TEL Mark 8 2D光刻资产还包括两个精密计量系统----一个接触接近显微镜和一个全表面图样检查器----每个系统都能够在微米范围内进行测量。这使操作员能够在完成之前、期间和之后准确看到其光刻胶图样制作过程的效果。此外,该模型还包括通过物理处理或使用单独或多种不同材料将额外的抗蚀剂层沉积到表面上的能力,以便创建更高级别的细节或有选择地使表面变硬。这允许操作员产生具有不同复杂程度的结构,从简单的线条和曲线到复杂的模式或设备。而且,TOKYO ELECTRON MARK 8 2D光阻设备还包括一个图样几何经纪人和一个运动学建模者,这两者都为操作者提供了对光阻图样制作过程的变换和渲染方面的高度控制。3D建模器还允许操作员在短时间内创建多个复杂的模式。归根结底,Mark 8 2D光刻胶系统是一个全面可靠的单元,能够以高精度产生各种错综复杂的图桉。通过机械、化学和光学组件的组合,机器一定会为操作员提供最终的控制,为其电路设计创建所需的模式。
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