二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 3C #9290536 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 3C是TEL製造的光刻胶设备，用于半导体器件製造。该系统既是涂膜器又是显影剂，用于在半导体晶片上生成光刻胶图样。该单元配有一个步进器，用于引导晶片通过该过程。步进器配有对齐卡盘，以确保晶片在过程中的准确定位，并配置为从标线转移对齐信息。曝光时间可以根据需要而变化,扫描镜像可用于特定型号,以提高工作效率。该机器有一个内置的气体输送工具，可以根据所使用的特定抗性化学而量身定制。它能够供应惰性气体，如氮气或六氟化硫，用于抗蚀剂去除，以及氧气用于等离子体清洁。该资产还可用于加工其他光掩模基板，如玻璃、石英和金属。该模型有一个集成的CR旋转臂，用于在晶片表面施加光致抗蚀剂。手臂能够均匀覆盖被光刻胶覆盖的晶片，同时避免涂抹和汇集抗蚀剂材料。它与广泛的光刻胶兼容，具有电动调节和精密的微量滴定泵。该设备还具有用于控制和监控晶圆处理的PhotoMaster控制器。控制器能够进行半自动和全自动操作并存储工艺配方。PhotoMaster控制器还可以测量和显示曝光剂量。TEL Mark 8 3C光刻胶系统为高精度、高通量的光掩模阵列提供了先进可靠的工具,能够稳定、经济高效地制造半导体器件。它是光掩模生产过程中的一种有价值的工具。