二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293626805 待售

ID: 293626805
优质的: 1997
Coater / (2) Developer system 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是一种用于生产半导体电路元件的光刻系统。它配备了集成的控制、先进的诊断和监控,以及一个先进的自动化单元,以确保每个生产的准确性和可重复性。机器有一个用户界面,可以用来方便地操作刀具参数。该资产的设计目的是使光刻胶材料(特别是光刻胶薄膜)暴露于紫外线辐射中,而紫外线辐射与光掩模图样相结合,以确定设备上的图样。这种工艺通常用于成像和蚀刻精线光刻设备。它还有一个无掩码对准模型,设计用于在曝光过程中水平对准晶片,提高良好设备的产量。TEL MARK8 Photoresist Equipment拥有2.3微米至3.8微米的高光学分辨率,给人以高精度的曝光光敏胶膜特徵。它还能够以8倍或更快的速度对设备进行阵列设计,从而缩短处理时间。它还可以支持6英寸和8英寸晶圆尺寸。系统还有一个粒子探测器来记录单元外的缺陷或环境条件。这样做是为了保持其性能并延长设备的使用寿命。它还具有特殊的光学器件,以尽量减少其排气,防止在曝光时对胶片的污染。TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Machine还有一个专门设计的自动对焦工具,用于自动调整镜头的对焦长度,以获得更好的性能。它还具有自动剂量机制,可自动调整底物每一层的辐射剂量。这样可以确保将适量的能量施加到每一层的基板上。此外,TOKYO ELECTRON MARK 8 Photoresist Asset拥有高度精确的晶圆级和提供可重复可靠性能的先进软件工具。这确保了生产结果的一致性和可重复性,为制造半导体器件的关键过程提供了更高的可靠性。总体而言,Mark 8光刻胶模型是半导体工业中光刻工艺的理想工具,为生产线提供了卓越的精度和可重复性。
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