二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293657242 待售
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ID: 293657242
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
(1) Coater / (1) Developer system, 8"
Dual block
Coater: (4) Nozzles
Developer: Stream nozzle
Wafer flow: Left to right (CSB Unit left side and interface station right side)
Tank auto switch
Block 1:
FC-9821Ke Controller
Stage / indexer: Cassette station
Cassette Station Arm (CSA)
Block 2:
Normal photo resist coater 2-1:
(4) Photoresist dispense nozzles per coat unit
(4) Photoresist dispense nozzles and Iwaki Resist pump per coater
Side rinse nozzle (Programmable)
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8设备是一种光刻系统，用于半导体器件的光刻。光致抗蚀剂是一种材料，用于通过有选择地允许光通过它在基板上形成图桉。TEL MARK8单元使用投影仪将光致抗蚀剂暴露在紫外线下，并使用工艺室溶解不需要的材料。TOKYO ELECTRON MARK-8是一个模块化的机器，有两个部分：曝光头和过程室。The Exposure Head holds the projector, which is agained a advanced, UV敏感光学工具.它能够以精确、精确的方向和投影图桉的大小传递短脉冲的紫外线。工艺室是资产的另一个组成部分，其设计目的是在曝光后溶解光致抗蚀剂。腔室被加热并填充一种化学溶液，作为溶解光致抗蚀剂的催化剂。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8模型也可以调整为在不同温度下处理不同的底物，使其非常适合用于各种半导体制造工艺。TEL Mark 8设备用户友好,可以精确控制阵列制作过程。它有一个简单的控制面板，允许用户快速调整投影图桉的大小、方向和脉冲强度。此外，它还允许用户轻松重复该过程，从而能够快速准确地生产出大批量的IC。总体而言，TOKYO ELECTRON MARK8光刻系统是光刻工艺的可靠、强大、精确的工具。它简单的控件和用户友好的设计使用户能够快速准确地为其基板设计图样，使其成为任何半导体制造设施的宝贵资产。
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