二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293680676 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种最先进的光致抗蚀剂设备，用于通过光刻在半导体晶片上创建错综复杂的图样。该系统运行精度为75nm，公差为10nm，非常适合多氯联苯等微电子行业的各种应用。TEL MARK8单元由主光阻单元、抗蚀剂曝光单元和基板制备单元组成。主要的光致抗蚀剂单元是机器的心脏，用于测量和施加在基板上的抗蚀剂。抗蚀剂曝光单元用于控制光刻过程中暴露于抗蚀剂的强度、位置和时间。基板制备单元用于确保基板在光刻过程之前得到适当的制备。TOKYO ELECTRON MARK-8工具设计用于各种可针对各种应用量身定制的抗蚀剂。它能够通过使用其易于编程的高级抗拒控制系统来适应不同的抗拒类型。此外，它还与广泛的照明源兼容，如激光、汞弧灯和荧光灯。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8资产还附有高级软件套件。这包括用于监视照片蚀刻过程的软件以及用于计算最佳曝光时间的软件。此外，还可以对模型进行编程，以自动调整照明条件和抵抗水平，以响应基板和晶圆条件的变化。MARK-8设备是生产多种微电子工业元件的理想选择。其先进的抵抗控制能力、与多种抵抗剂的兼容性以及容易适应不同光源的能力，使其成为高度通用的系统。此外，它的软件套件为用户提供了微调照片蚀刻过程以获得最佳效果的能力。
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