二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293690383 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是由TEL Limited开发的光刻胶设备，主要用于半导体生产领域的晶圆製造。它是一个全面的系统，可以处理晶圆涂层、晶圆显影和蚀刻等广泛的光刻胶处理步骤。TEL MARK8单元具有直接驱动的"运动学驱动"涂层转子,允许高精度、低缺陷和高工程屈服。涂层转子的运动由具有运动主动定位机构的高速、高效、高稳定性的直驱电动机控制，用于精确、稳定的过程。机载温度级监测确保了高质量和可靠的操作。它结合了先进的晶圆处理能力，这使得最佳的实际过程均匀性。该机器提供各种晶圆尺寸,如传统晶圆和特殊晶圆类型,还支持多向布局,以满足客户的任何独特需求。TOKYO ELECTRON MARK-8利用精细控制的优化工艺参数,可以处理光刻胶,精度± 1 μ m。其先进的基于算法的控制技术有助于在长期运行过程中保持稳定的处理质量和一致性。该工具使用传感器控制的光学器件和驱动器位置控制,以确保晶片上的光膜一致且平整。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8也提供直观的使用者介面，方便操作。它拥有用户友好的菜单和图形,具有允许一键处理的"配方"类型操作,大大简化了操作。高度自动化的作业得到安全资产的进一步支持，以查明任何潜在的安全危险，并有助于确保安全、安全和稳定的工作环境。MARK-8是先进的半导体加工应用的理想解决方桉，如接触电镀、碰撞和薄膜沉积。其缺陷率低，精度高，是生产先进半导体元件的可靠选择。因此，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8是业界使用最先进、最可靠的光刻胶系统之一。