二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293751439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是为多层晶圆生产而设计的"光刻"设备。该系统基于三轴对准级，采用了最新的投影光学和编程光束去噪技术。TEL MARK8是一个高度可配置的单元,每家银行最多可容纳32个系统。TOKYO ELECTRON MARK-8采用多级通道系统,为高度复杂的应用和过程提供灵活的晶圆管理。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8利用自动掩蔽和板式卡带机进行全图样抗蚀剂、PR掩蔽和蚀刻抗蚀剂的应用。该工具的高压电源、集成步进电机和滤波器控制器也有利于顶级应用和工艺稳定性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8旨在应对下一代光刻应用中快速原型制作和快速生产的挑战。该资产利用尖端光学、过程控制和编程技术来实现卓越的投影、分辨率和模式可重复性。MARK-8的光管理设计效率很高,具有独立的曝光室和激光二极管,允许用户减少曝光时间并提供卓越的图像质量。此外，该模型采用专用的光束去噪滤波器，允许用户以最小的失真实现更紧密的模式保真度。TEL Mark 8还配备了多种安全功能，如自动间隙识别设备、自动比较系统和安全监视器。安全监视器确保设备在所需的操作窗口运行,并在检测到任何故障情况或过量的颗粒排放时关闭。Mark 8提供了一个可配置的平台,每台计算机最多可执行8项任务,一个盒式磁带中最多可执行4项任务。利用这些功能,该工具可提供无与伦比的工艺效率和可重复性级别,提供满足下一代光刻需求的理想平台。