二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293761366 待售
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ID: 293761366
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Developer system, 8"
(2) Spin units
(6) Hot plates
(2) Cool plates
Loader type: Index
Process type: L-Type
(2) Develop spin unit (Spin chuck: 80Φ)
Develop unit: Stream nozzle, Top rinse, Back rinse
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种为了处理半导体层形成和器件製造而设计的光刻胶设备。TEL MARK8使用计算机控制的系统来优化光刻胶的光照和层形成过程。该单元集成了光源、光刻胶和光照控制、用于成层和晶片对准的光学机器,以及用于从刀具装卸晶片的自动卡带到卡带处理程序。TOKYO ELECTRON MARK-8上的光源能够提供范围广泛的光强度,从极低到极高,从而能够精确控制晶圆光的暴露。光学资产也集成到单元中进行层成形。该模型使用高分辨率级成像相机检测晶圆并将其对准层形模具组。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8的Cassette-to-Cassette处理程序通过支持大多数标准的Cassette尺寸,允许从设备自动装卸晶片。TEL Mark 8还具有高级光照控制功能,能够精确控制晶圆上的光照模式。这款高级光照控制集成到MARK8系统本身中,使用户可以预见地控制每个模具的光照强度和曝光时间。它还拥有一个具有实时数据采集和显示功能的过程监控单元,使用户能够在必要时对机器的光照参数进行即时调整。综上所述,MARK-8是一种可靠高效的光致抗蚀剂工具,能够精确控制层层形成和器件制造过程,从而生产出高质量的半导体器件。先进的光照控制、晶圆对准的光学资产以及自动卡带到卡带处理程序确保使用TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8可以达到最高精度和速度。
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