二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9090357 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是半导体工业中使用的一种光阻设备，用于阵列集成电路。它是一个完全自动化的系统，能够沉积、暴露和开发一系列不同的抗蚀剂。TEL MARK8包括一个容纳抗蚀剂和其他要彷制材料的房间。该腔室与晶片级相连，晶片级在制图过程中保持晶片。抗蚀剂和材料通过垂直喷射器装置引入腔室。然后使用平面沉积工艺将它们分布在晶片表面上。如果需要,还可以使用旋转涂层方法分发材料。一旦抗蚀剂和其他材料在晶片上就位，TOKYO ELECTRON MARK-8就准备开始其光致抗蚀剂图样制作过程。此过程从将晶片暴露于紫外线光源开始。光源的强度是可调的，允许在晶圆表面上创建不同的图样。曝光可以奇异完成，也可以组合多个曝光，形成更复杂的模式。暴露后借助溶液开发抗蚀剂，必要时可使用溶剂剥离晶片表面的任何残留物。这留下了MARK8所创造的精确模式。TEL Mark 8创建的模式可以用来创建高效的集成电路设备。TOKYO ELECTRON MARK8是一种高度可靠、精密的机器，也易于使用和维护，对半导体制造商来说是一个有吸引力的选择。它可以使用各种各样的抗蚀剂和材料,并且能够创建复杂的模式,适合用于创建高级集成电路。