二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098383 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光阻处理设备，设计用于在半导体晶片上创建精密微电路。它允许精确控制光刻胶层的曝光、扩散和蚀刻，这些层用于在半导体芯片上绘制非常小的器件图案。TEL MARK8由光掩模组成，用于将光刻胶膜暴露于紫外线下形成光刻胶形状。接着是两个扩散炉，将暴露的薄膜煮熟，溶解掉未受保护的区域，并形成所需的模式。TOKYO ELECTRON MARK-8还包括两个将图样蚀刻到底层基板的系统。第一种允许对深沟进行蚀刻，通常用于创建接触垫和其他深层电气结构。第二个蚀刻掉光刻胶薄膜本身，从而将底层底物暴露在所需的位置。光致抗蚀剂系统的其他特点还包括化学和机械洗涤单元在抵抗沉积前去除颗粒，一个去离子化的水浴，以及两个单元在加工后检查装置图样。第一个是显微镜附件，它允许用户以高放大倍数检查图样，第二个是电气测试仪，它在设备上施加电压，以确保其正常工作。总之，MARK8是一个综合性的光刻加工机器能够创建精确的微电路设备，严格控制曝光，扩散，和蚀刻。该工具是全球现代芯片制造厂的重要组成部分，其可靠性和准确性对于制造高质量半导体元件至关重要。