二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098384 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款设计用于半导体加工的先进光刻设备。它能够蚀刻和沉积，以及正面和负面的抵抗模式的过程。光致抗蚀剂在集成电路（IC）制造中是必不可少的，因为它们允许在硅片上制造形状精确的器件结构。TEL MARK8具有最先进的成像和阵列系统。其生产采用高效蒸发器和自旋涂料。蒸发过程允许精确的温度和气相沉积控制，而自旋涂层提供均匀一致的抗蚀涂层。该机组还配备了用于自动晶片运输和处理的高级级机器，以及调节主动蚀刻剂强度的可调双极电源。这种精确度使得它能够在最深处的井中蚀刻和沉积材料。该工具还因其尖端光学元件而具有1微米的高档分辨率。此特征可确保晶片上的精确几何形状。此外，TOKYO ELECTRON MARK-8还包含一种优越的溅射速率控制资产，可在加工过程中产生高性能的细颗粒薄膜。这有效地产生了具有不妥协的层对层粘附的高密度图样。TOKYO ELECTRON MARK8是专门为高级和重型应用而设计的。它可以制造低至50 nm的图样,精度级别为0.5 μ m。它的自动化晶片处理能力和精确可调的双极电源使得它非常适合高精度半导体的大批量生产。此外，其优越的溅射速率控制使得它能够有效地在最细腻的基板上产生深蚀刻膜和形状。Mark 8以其卓越的精度、精确度和吞吐量相结合,是为满足最苛刻的半导体制造需求而设计的高端光刻胶模型。