二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098385 待售
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ID: 9098385
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Coarter / (3) Developer system, 8"
6 HP
(4) CP
WEE
(4) 2-1 RRC
EBR Stepping
E2
Komatsu
THC
C/B
I/F
LtR
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款设计用于先进半导体器件加工的全自动光刻设备。适用于光刻、光刻、晶圆清洗等光掩模加工操作等应用。该系统采用全自动光学臂和CCD摄像机，通过调整焦点和对准光敏表面来精确控制曝光参数。它配备了一台高分辨率数码相机，用于测量多个位置的光掩模的成像性能。此外,该设备还具有定制扫描晶粒尺寸控制机器,以确保对各种类型的光掩码进行成功的设备处理。该工具设计用于具有过程控制和一致性的高级半导体器件处理。它具有用户友好的控制界面，用于快速设置实验，调整参数，并将进度单一化。此外，资产还有一个统计质量控制模型来进行预测性维护，以确保最佳性能。TEL MARK8光敏设备提供高曝光均匀性和垂直对齐的结果，以确保工艺产量和延长光掩模寿命。此外，它与所有光刻胶的兼容性确保了最大的灵活性，使用户能够加工各种基材和材料。此外，它的低压、低真空处理能力提供安全高效的操作，将基板或光掩模损坏的风险降至最低。最后,设计了TOKYO ELECTRON MARK-8光致抗蚀剂系统,用于先进的半导体器件加工.它提供高水平的曝光均匀性和曝光控制，确保工艺产量和光掩模寿命。其用户友好的界面、与所有光刻胶的兼容性以及低压、低真空处理提供了安全高效的操作。
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