二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098390 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8（TM8）是一种光刻设备，设计用于光刻工艺。光致抗蚀剂是一种对光敏感的聚合物。TM8利用光源将图样暴露在基板上，然后将抗蚀层沉积到所需的区域。该TM8是一个自动化阵列系统，利用先进的设计，能够自动化处理的准确性和可重复性一微米以下。该单元利用三个阶段的模式-曝光前、曝光后和曝光后。预曝光阶段利用阶段移动机器将晶片从盒式磁带移动到刀具内的对准单元。对准资产使用激光来确保晶圆在曝光过程中的精确定位。曝光阶段负责将光源投射到基板上。该TM8利用高强度紫外发光器对晶片进行成型，获得高通量的对准精度。光致抗蚀剂在曝光过程之前施加，然后光激活所需区域内的抗蚀剂材料。曝光后阶段由烘烤模型组成，用于干燥光刻胶层。烘烤设备还提供了层的硬度。此后,将注册抵抗剂以执行进一步的处理步骤。总体而言，TEL MARK8是一个强大的光刻系统，旨在为光刻应用提供强大而精确的图样。它的自动化功能提供了快速可靠的曝光过程,同时提供了可重复和准确的结果。TM8可以处理直径达300毫米的晶片。该TM8是半导体制造商和集成电路制造设施的一种经济高效的工具。