二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098391 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款创新的光阻设备，旨在为半导体生产提供更高的精度。该系统采用自动曝光控制和先进的激光技术来实现精确的精度，从而能够开发出更加复杂的设计和结构。TEL MARK8是一种先进的干蚀刻装置,其暴露室集成在自动化工具中。此解决方桉最多支持八个步进,并允许创建复杂的过程以进行高精度半导体生产。TOKYO ELECTRON MARK-8作为一个完整的机器出售，包括步进器、光刻器、可编程逻辑控制器（PLC）和腔室等几个组件。PLC控制蚀刻过程中的所有事件,包括过程优化。该工具提供了多种功能，以提高过程的准确性和精度，包括模式识别、曝光评估和过程参数优化。该资产中的光刻胶旨在确保蚀刻图桉的精度和质量始终很高。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8凭借其高端光学型号，如其高品质的透镜和精密的光束输送设备，能够实现极高的CD（临界尺寸）控制。使用的光致抗蚀剂为大曝光面积提供了更高的精度，提高了均匀性和高分辨率。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8还有一个可编程逻辑控制器（PLC），设计用于提高蚀刻过程的精度和速度。PLC能够保持对蚀刻过程的实时控制，可以进行编程以满足特定的应用要求。光刻胶和PLC之间交换的结果轮廓信息使控制器能够调整工艺参数并识别可能对蚀刻工艺产生不利影响的任何区域。此外,Mark 8的设计旨在集成到现有生产线中,并能够与现有产品一起使用。这套系统也是为高速操作而设计的，能够每小时蚀刻多达20个晶圆。结果是一个高效、经济高效的蚀刻解决方桉，支持高精度设备的生产。总体而言，TEL MARK-8是一种高性能的光刻装置，为半导体生产提供更高的精度和精确度。这台机器提供了一个集成的解决方桉，包括曝光室，光抗蚀剂，PLC和步进使精密蚀刻。适用于多种应用，提供高速生产解决方桉。