二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098395 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098395
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(2) Coaters / (1) Developer System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蚀剂设备是一种经济高效且用途广泛的蚀刻系统,旨在满足广泛的光化学需求。是生产集成电路、显示器和其他微元件相关生产工艺以及介电膜、金属电极和其他光刻材料应用的理想解决方桉。TEL MARK8具有用户友好、直观的触摸屏界面,使编程和对结果的监控变得快捷易用。此外,TOKYO ELECTRON MARK-8高效的工业级电动平台和坚固的机械结构可确保提高生产率和一致性。Mark 8利用先进的电源控制和先进的直流蚀刻技术提供准确、可重复的结果。有两种成像模式:低分辨率(LR)和高分辨率(HR)。这两种模式的设计都是为具有高纵横比的直流蚀刻提供高质量的图样。计算机控制的双向切割技术也可用于高精度切割。TEL MARK-8配备了精确的光学对准单元,可确保创建清晰、准确的图像。它与真空兼容的腔室允许它在广泛的温度和大气层中使用。此外,该机器还配有防风罩,可保护防腐剂免受灰尘和空气污染物的侵蚀,从而确保更清洁的蚀刻效果。该工具具有较高的蚀刻基板通量,并配备了一种抗蚀剂填充资产,简化了改变使用的抗蚀剂类型的过程。自动抗蚀剂调整功能可补偿抗蚀剂类型之间的差异。该模型还旨在确保每小时加工基材的增加和更快的结果,使用户能够最大限度地提高产量和提高成本效率。最后,TEL/TOKYO ELECTRON MARK8附带了一系列专有的软件和设备控制套件,使用户能够根据自己的工艺需求监控、调整和修改操作参数。一些基于CDS的软件应用程序(如工具助理)可用于模式检查和校正。该系统还支持用户定义的配方设置和库数据导入/导出,以获得更大的灵活性。TEL的TOKYO ELECTRON MARK 8 Photoresist Unit具有先进的特点、工业级的可靠性和精确度以及成本效益,是光刻材料应用的一种非常方便的解决方桉。
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