二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098397 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光刻设备,用于半导体制造的光刻工艺。它用于在晶片上绘制薄膜层抗蚀材料的图案,从而在基板上形成人工创建的掩模。光刻胶系统允许在晶片上精确放置井、图样或栅格,从而能够产生非常精确的特征或装置。TEL MARK8具有高速扫描光学单元和全伺服控制,允许非常精确的特征放置。它还具有区域密钥扫描功能,使其能够在晶片上精确跟踪模式,而不会造成任何失真。它还有一个用于放大成像的高分辨率照相镜头。光刻机配备了先进的光刻工具,可进行高达20 µm分辨率的水平扫描,以及高达1 µm分辨率的垂直扫描。机器还可以处理一系列暴露剂量,从sub-nC/cm2到几个mC/cm2不等。它具有集成的广播资产,可方便多模式曝光。还有一个内置的ID模式识别模型,使机器能够自动识别模式。TOKYO ELECTRON MARK-8光刻设备装有晶片夹紧系统,将晶片固定到位,确保蚀刻过程的精度和准确性。该单元还使用户能够在单个晶片上执行多级蚀刻过程,使其适合生产复杂的电子设备。此外,计算机还为用户提供了远程诊断工具的访问权限,使他们能够从远程位置监视进程,并在需要时进行必要的调整。它还具有一个旋转的基板级,可以旋转到180 µm,以便于在晶圆上曝光。TOKYO ELECTRON MARK8光刻工具为用户提供了制造集成电路和其他电子应用的通用、准确和可靠的手段。它是寻找精确光刻结果的理想工具。
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