二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098398 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是一种高度先进的无掩码光刻应用系统。它采用以二维发光二极管（LED）阵列为主要照明源和光学透镜的新颖概念，精确聚焦LED照明。它能够处理从几微米到几毫米的特征大小，并且可以轻松实现纳米配准精度。它还能够使用多种光刻材料，包括光学和电子束抗蚀剂，以及干蚀刻和金属化。该单元由几个组件组成，包括一个包含光源和透镜腔的光学头组件、一个LED准直模块、一个数字图像投影模块以及一个用于将光学器件和成像基板精确定位到工具上的对准机。LED阵列提供了将图样图样设计成抗蚀剂材料所必需的照明,并且能够在具有广泛工作波长的光强度下提供前所未有的线性水平。LED准直模块采用电子驱动阀,可在直接照明和漫射光之间进行精确切换,从而实现更精细的特征覆盖和曝光纬度。利用特殊的传感器和成像软件，可以精确对准LED阵列和基板，使对准精度超过一纳米。数字图像投影模块用于控制图像强度，通过多种设置，如脉冲宽度调制以及图像的空间分辨率。此模块还可用于放大或缩小成像区域，同时保留图像的整体质量。该资产还具有一个对准模型，用于精确对准成像基板和LED阵列，从而实现高精度对准和高达一纳米的特征配准精度。对准设备还利用各种探针和探测器测量成像基板和LED阵列在x-y-z方向上的位置，能够准确地表征阻抗模式失真。总体而言,TEL MARK8是一个面向无掩码光刻应用的高度先进的系统,具有独特的阵列-LED准直单元和数字图像投影模块,可实现更高的特征密度和边缘控制,极高的曝光精度高达1纳米。它非常适合纳米技术应用，在创建精确的图样和结构时需要高精度和精确度。