二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098400 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光致抗蚀剂设备，用于在半导体基板上创建电路模式。它既利用了光刻技术，也利用了蚀刻技术，允许在基板上创建有图桉的金属线。光刻胶系统使用具有所需图桉的光掩模，然后引入到单元中。首先，基板涂有使用自旋工艺的光敏材料。然后通过光掩模将基板暴露在紫外线下。在此过程中,光会与光阻材料相互作用,从而改变其特性。曝光后，将底物在溶剂中冲洗掉，以去除未曝光的光敏材料或留下暴露的部分。光致抗蚀剂的裸露部分应保留，作为蚀刻的"模具"。然后采用蚀刻工艺去除暴露的光致抗蚀剂残留区域内的基材。这将创建所需的金属线阵列。然后加入金属前介电沉积，是金属线上的一层绝缘材料。这增加了设备的可靠性,并提供了蚀刻零件和基板之间的电气连接。最后，必须先移除暴露的光致抗蚀剂，才能测试晶片。这通常是通过灰化或浸入显影剂解决方桉来实现的。TEL MARK8为在基板上创建金属线的过程带来各种好处。它消除了将暴露区域与底物未暴露区域分离的多步骤的需要，使整个过程更加高效和经济。它还具有对循环线尺寸的精确控制,确保可靠的设备性能。综上所述，TOKYO ELECTRON MARK-8光刻机是一种有效的工具，用于在基板上创建复杂的金属线图样。它的自动化过程和精确控制确保了可靠的设备性能,使其成为电子界企业的宝贵工具。