二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098401 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8(TE TEL MARK8)是半导体工业中用于在半导体晶片上沉积厚膜的光刻设备。TE TOKYO ELECTRON MARK-8可以为广泛的应用提供精确、自动、高速的解决方桉,包括步进/扫描仪应用、晶圆探测和光刻。该系统设计具有卓越的机械完整性、出色的热稳定性和极快的响应时间。TE TEL Mark 8由一个带有清洁真空室的单元平台、沉积源和随附的电脑软体组成。该机器设计为提供高真空环境,允许在真空室中将高质量、高密度的薄膜沉积在晶片上。这些源可配置用于不同类型的沉积过程,如热束或电子束。利用计算机软件对薄膜沉积进行精确控制,该软件包括一个可编程控制器和算法来调整沉积过程的参数。TE TEL/TOKYO ELECTRON MARK8也有一个用于收集光谱数据的光学采样工具,用于实时监控过程。这些数据用于确保沉积膜的均匀性和准确性,以及验证沉积过程中的工艺参数。TE MARK8功能还包括内置温度控制器和高级自监控资产,以便使工艺参数保持在精确的公差范围内。这保证了沉积膜的质量和均匀性最高。该模型还有一个自动报警设备,可实时监控过程,如果参数不在可接受范围内,则可以关闭该过程。TE TEL MARK-8已成功用于半导体行业的许多应用,包括晶圆探测、光刻和其他多种先进工艺。TE MARK-8具有自动化的控制、精密的沉积和高质量的结果,是各种工业应用的理想系统。
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