二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098639 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098639
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蚀剂设备是为最先进的光刻应用而设计的最先进的光刻系统。该设备采用轻巧、独立的机械臂,可自动执行与光刻相关的照片处理步骤。这台机器能够精确、高精度、高通量地生产复杂的平版印刷图样。TEL MARK8 Photoresist Tool具有强大的硬件和软件集成资产。该型号的主要部件包括数字成像设备、精细控制系统、抗蚀剂开发单元和曝光后烤箱。数字成像机包括激光干涉仪、数字成像相机和激光照明工具。这种资产可以精确控制模式的放置和对齐,分辨率高达0.1微米。精细控制模型允许精确调整光掩模和光刻胶的曝光剂量。抗蚀剂开发设备用于在基板上开发和蚀刻图样。该系统采用碱性、酸性、热性等标准抗性开发工艺。最后,利用曝光后烘烤炉完成光刻胶的开发过程。这款烤箱将光刻胶带到合适的温度进行开发。TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Unit是一款先进的高性能机器,可确保在制造光刻零件时的精度、准确性和可重复性,适用于要求最苛刻的应用。该工具旨在实现快速吞吐量,显着减少开发周期,并生产出质量最高的产品。此资产具有高度可配置和可定制的特点,可用于最简单或最复杂的平版印刷过程。此外,TOKYO ELECTRON MARK8 Photoresist Model易于设置、使用和维护,并为任何光刻需要提供理想的解决方桉。
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