二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098643 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款光刻设备，设计用于光刻工艺。TEL MARK8是用于制造半导体器件的微加工和微电子的光刻系统。该单元由掩模对准机、晶片级、光刻刀具和光学刀具组成。掩模对准资产包括两个主要组成部分：控制舞台运动的舞台运动控制单元和晶圆对准单元。晶圆对准单元用于捕获晶圆并将其对准掩模。此外,还使用编码器模型实现二维对齐。这样可以确保晶片精确对齐。晶片级执行将晶片物理传输到掩模的工作。该级配备了低惯性线性执行器、进气通路、三相编码器系统等运动控制机构。这些机制使晶片级的运动精确。光敏设备用于在晶片上涂上感光膜。TOKYO ELECTRON MARK-8设有化学供应单元、真空分配单元、气体控制单元和加热单元。化学供应装置用于填充和重新填充罐中的化学物质，用于涂覆晶圆。真空分配单元用于在晶片上产生真空，使光致抗蚀剂均匀地施加在晶片上。气体控制装置用于确保无污染的安全环境。加热装置用于将化学品保持在调节温度。利用TEL MARK-8的光学工具使晶片暴露于光中。该工具配备了照明光学和成像光学。照明光学器件允许光线通过掩模并投射到晶片上。成像光学器件允许晶片成像以帮助对准过程。TOKYO ELECTRON MARK8配备了一系列尖端技术，以确保光刻工艺的精确度和精确度。器件级的精确对准和化学供应单元的精确控制，保证了光刻胶在晶片上的均匀可靠沉积。掩模对准系统和成像光学器件提供准确、高质量的成像。这些功能的组合为Mark 8提供了必要的工具来创建一些最先进的半导体器件。