二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109448 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款先进的光刻胶设备，设计用于提供高精度的图样，在曝光过程中具有精确的可控性。该系统能够将薄膜层涂覆到半导体晶片上，用于晶片加工应用，包括光刻和蚀刻。该单元包括一个强大的步进器、一个自动控制器、一个光学成像机和一个电动级。步进器作为工具的心脏，配备了广角和窄角透镜，以提供光阻处理所需的照明角度。步进器还有一个电动晶片级和检测器，能够使晶片相对于光学资产精确对准，从而在微米范围内实现精度。步进器还包括一个对准机构，它提供了最佳成像性能所需的3轴调整。连接到步进器的自动控制器提供所有必要的控制参数，如晶圆位置、步长大小、曝光剂量和曝光时间。有了这些参数，操作员就能有效地控制曝光过程，确保达到最佳图像尺寸。TEL MARK8的光学成像模型包括一个具有大照明视野的DMD（Direct Mask Data）成像设备，允许投影光学器件快速准确对准。该系统可以进行调整，以适应单个光刻应用所需的各种曝光。最后,电动级允许设备移动到下一个晶圆位置,而无需手动重置设备。TOKYO ELECTRON MARK-8光刻机提供高精度和精确的可控性相结合，是晶圆加工应用的绝佳选择。通过这种组合,制造商可以快速而准确地创建具有高分辨率图像的晶片。反过来，这可以显着提高晶圆制造工艺的生产率。