二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9115313 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8是半导体工业中用于晶圆光刻加工的光刻设备。该系统能够处理200毫米至450毫米的基板,非常适合基于掩码的和直接写入的过程。该设备包括一台设备齐全的清洁机，可用于在加工前清洗和冲洗基板。它有一个内置的基板输入/输出单元，使得它非常高效和易于使用。该工具使用了几种不同类型的光致抗蚀剂，包括正、负和正/负。TEL MARK8使用步进器将基板精确移动到所需的位置,以及能够在所有方向上旋转、升高和降低以及基本缩放的晶片级。它还配备了八区气体输送资产，允许对工艺参数进行更高程度的控制，这在处理薄膜时特别有用。该模型有一个内置辐射源，由准分子激光器、离子源和扫描电子束源组成。它还有一个真空处理模块，使蒸发、溅射和溅射沉积等过程成为可能。TOKYO ELECTRON MARK-8非常适合高密度互连形成、微米级模式形成和通孔光刻等应用。此外，它还能够创建高级膜系统，如钝化层、隔离层和光掩模。它拥有一个功能丰富的平台，允许用户执行所有类型的制造和加工要求总体来说，TOKYO ELECTRON Mark 8是一个非常可靠和先进的光刻设备，能够处理各种各样的基材和光刻，以及提供广泛的特性和功能。它因其多功能性和易用性而在半导体行业中非常流行，能够准确、快速地完成各种光刻工艺。