二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9142711 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9142711
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Coater, 8" 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是为精密晶圆製造工艺而设计的最先进的光刻系统。它确保了最高级别的产品质量和可靠性。它能够在各种各样的基板上处理光学、热和其他复杂的纳米级结构。TEL MARK8支持电子束和i-Line阵列,使客户能够在单个平台上执行研发和生产过程。TOKYO ELECTRON MARK-8配备了13.56 MHz电感耦合等离子体(ICP)源,并具有先进的电容耦合等离子体(CCP)技术,以减少等离子体侵蚀,提高蚀刻选择性。它还配备了先进的多区温控单元,在每一个基板上都提供精确控制的均匀性和轮廓控制。此外,先进的光束控制机确保了曝光的均匀性。优化的终端效应器单元(EEU)设计和先进的视觉系统可在最小的空间内实现最紧密的公差和最高分辨率的阵列。该工具体积小巧,占地面积小,非常适合空间有限的实验室和其他小型生产环境。此外,该资产还配备了最新的自动化技术,如机器人处理,可以轻松地集成到各种各样的洁净室、热链接和传输环境中。TOKYO ELECTRON MARK8在纳米级提供了最高水平的生产力和精确的模式。它是实验室和研究设施的理想工具,提供前所未有的性能和灵活性。该模型可提供最大的工作效率和可靠性,使客户能够在最短的停机时间内实现目标。
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