二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9158967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种闭环光刻工艺控制设备，专为生产半导体器件而设计。它由一套先进的控制算法组成，实时测量光刻胶化学浓度和温度的状况，用于晶片上光刻胶的处理。因此，该系统对光刻胶化学浓度和温度提供了极其精确的控制和监测，这是最佳光刻胶开发所必需的。TEL MARK8包括两个主要组件：控制单元和测量单元。控制单元由多个模块组成，包括数据采集机、信号处理工具和数字控制资产。数据采集模型负责捕获相关的传感器信号，其中包括光刻胶化学浓度和温度。信号处理设备执行数据分析和预处理任务，数字控制系统实施控制算法，根据需要对光刻胶化学浓度和温度进行监测和调节。测量单元由安装在腔室内不同位置的若干探头组成。这些探针负责测量光致抗蚀剂的化学浓度和温度，以便使控制算法能够有效地调整工艺参数。TOKYO ELECTRON MARK-8凭借其标准接口,易于集成到现有设置中。该机器还具有很高的可靠性，因为它对所有模块和仪器进行严格的自我诊断，以及连续的数据分析，以确保光刻胶得到正确的处理。它还具有存储数据以供将来分析的能力,从而可以轻松确保快速解决任何问题。总体而言，TEL MARK-8是一种先进的、可靠的光致抗蚀剂工艺控制工具，旨在为晶片上光致抗蚀剂的处理提供极高的精度。它具有先进的控制算法、存储数据以供将来分析的能力以及较高的可靠性,使其成为半导体器件制造的理想选择。