二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9159072 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光致抗蚀剂设备，设计用于能够观测快速变化的现象。该系统能够在短时间内以高精度检测和控制亚微米超细图样。利用扫描电子束曝光具有纳米分辨率和光刻性能的感光膜。TEL MARK8允许在任何基板上创建多种图样，从聚酰亚胺等聚合物基基板到铝等金属基基板。它具有广泛的分辨率,最高分辨率为0.2 μ m。该单元还具有X轴和Y轴高分辨率扫描的能力。TOKYO ELECTRON MARK-8能够处理尺寸达200毫米的底物，在给定的镜头中可以处理0-400mm的深度。该机配备了一个用于基板均匀涂层的自旋涂层和一个用于精密级的多轴级，最大级速度为160厘米/分钟（厘米/分钟）。它允许各种应用,包括3 D阵列、投影毛细管和3D蒙版打印。这些特性使MARK8成为微电子和半导体工业中许多不同应用的首选工具。TEL Mark 8具有集成的曝光控制软件,可轻松调整操作,以适应所需的曝光和基板尺寸。资产还有一个快速快门，可以将总曝光时间减少22%。该模型采用高限监测，以提供关于设备效率的快速实时数据反馈，从而最大限度地提高工具性能。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8利用了一个全面的镜内系统，将主光束精确地聚焦在物体表面上。这个单元还有一个向内看的摄像头监控，以确保光束正确聚焦在基板上。内置校准机为用户提供了方便的设置和快速的工具准备时间。除了TEL MARK-8，TEL/TOKYO ELECTRON对用户有活跃的售后照顾和支持计划。它们为资产提供快速可靠的服务和维护,并提供软件和硬件升级。该公司还提供培训和文档服务,以确保用户充分利用其TEL产品。