二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9170457 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光刻设备，用于生产微电子元件的光刻蚀刻。该系统用于半导体、太阳能、汽车、电信等不同行业的多种应用。这种先进的光敏装置有两个主要成分；成像和模式生成机（IPG）和涂层/显影工具（CODS）。IPG是一种图像生成和处理资产，能够产生用于微电子元件的高分辨率航空图像。它包含一个具有可编程单元和抖动图样的高分辨率图像生成器，可以调整图像的大小和形状来精确描绘组件。处理器分辨率为10µm，图像尺寸为100 µm。CDS负责应用和去除光刻胶。它配有一个化学罐和两个蒸发室，负责用一层薄薄的光刻胶对组件进行化学预涂。这种抗蚀剂覆盖了整个组件,并遮挡了不打算蚀刻的区域。在开发该组件时，CDS采用了一种称为"化学放大"的技术，通过直接影响光刻胶的物理性质提高精度和速度。这一过程利用了化学、热和光的独特组合，使光刻胶能够精确覆盖元件，并以最高精度创建图样。这种先进的光刻胶模型提供了高精度和可靠的生产微电子元件。它的分辨率为10µm，图像大小为100 µm，能够产生复杂的图像。IPG和CDS系统的设计是为了协同工作，以精确地应用一层薄薄的光刻胶和开发组件。这样可以更快、更准确地生产微电子元件，从而减少成本和生产时间。通过使用这种光敏设备，可以高效地生产出更精确和可靠的零件。