二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9180753 待售

ID: 9180753
(2) Coater / (2) Developer system Type: SMIF.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光阻设备,用于在刚性和柔性基板上创建集成电路。它基于先进的光刻技术,利用光将图像绘制到薄的抗蚀层上。光线由高精度、可变聚焦光学系统投射,并使用多个软件和硬件组件进行控制。该单元支持多种前端光学功能,包括高级迭加、远心成像、长深度成像和大体积参数控制。机器还包含一个用于实时优化过程参数的自动构建过程引擎,并提供下线检查功能。TEL MARK8的集成电路抗蚀涂层比其他光刻系统具有更高的精度和质量。它还能够处理更大的基板,并且可以处理尺寸高达650mm的基板。它的高精度和快速的基础极大地促进了极高速度和精度的集成电路的生产。此外,其先进的结构不平衡检测技术使刀具能够处理复杂的3D结构并提高生产速度和精度。资产还支持基板相关参数集,以实现最佳成像,为抗蚀涂层工艺提供多种选择。该型号采用高速、高效的自动曝光和开发设备。该系统保证了极高的精度和可重复性,是过程优化的理想选择。它还支持多重曝光和开发模式,如孔径控制、区域选择性和全场成像。TOKYO ELECTRON MARK-8也有一个晶圆等离子体烧蚀单元,可以用来去除抗蚀膜。这台机器使TEL MARK-8适用于涉及薄膜层的应用,如MEM。TOKYO ELECTRON MARK 8具有广泛的嵌入式控制技术。它有一个高速控制工具,允许精确的衬里,磁带定位,和阵列。它还支持千兆以太网、CAN总线和SPI等高级通信协议。这样就可以将资产无缝集成到现有生产线中。Mark 8的设计符合安全和可靠性的最高标准。它有一个自动化的自我诊断模型,可以检测故障并在需要时进行维护。设备还提供详细的报告和数据进行分析,使工艺优化比以往任何时候都容易。MARK-8还包含一系列安全功能,可确保最佳制造性能和可靠性。
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