二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9194264 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
已售出
ID: 9194264
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
(2) Coaters / (2) Developers system, 8" 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光致抗蚀剂设备,用于在广泛的基板上开发抗蚀剂,包括电子和电气元件。该系统能够处理尺寸在1-500mm x 0.1-6mm之间的基板,并具有高达每分钟7秒的高分辨率和阵列吞吐量速度。这个单元使用最先进的光刻技术,有多种应用可用于各种材料和尺寸。TEL MARK8具有三层流程,可提供更大的灵活性和更高的阵列设计准确性。顶层是金属层,为基板提供抗蚀剂的主要特性。中间层是一个半导体层,负责在抗蚀剂中获得所需的图样形状。底层是在基板处理时防止短路和泄漏的介电层。该机提供了开发具有不同类型曝光的抗蚀剂的灵活性,从开发精细球线型的理想曝光柔软到开发适合表面安装元件的硬曝光。光刻胶工具还具有独特的自动曝光控制资产,使具有精确特性的抗蚀剂得以发展。光刻胶模型的设计考虑了大批量的生产过程。它具有一个基于输送机的高度自动化的设备,用于去除基板上的涂层残留物,以及用于清洁基板和用光刻胶涂覆基板的各种选择。此外,系统还有一个集成的嵌入式图像捕获单元,可以在涂层前后检查基板。TOKYO ELECTRON MARK-8是一种可靠高效的光刻机,适用于广泛的用途。开发该工具的目的是使用大批量生产过程,与其他同类系统相比,它具有更高的灵活性、准确性和速度。无论是需要开发高分辨率的微电路,还是简单的清洁涂覆电子元件,TOKYO ELECTRON MARK 8都将确保工作做得对。
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