二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9215817 待售
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ID: 9215817
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
4 HP
(4) CP
(3) DHP
(3) 2-1 RRC
EBR Stepping
(2) 2-2 RRC
DEV Flowmeter digital type
E2
I/F NIKON
THC
C/B (3L x4)
LtR
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光刻设备，利用先进的光刻技术，方便将电路或其他错综复杂的图桉和形状蚀刻成硅或金属等基材。具体而言，TEL MARK8光致抗蚀剂系统可用于将基板绝缘以防止蚀刻，具体做法是只允许对基板的选定部分进行蚀刻，并使用光致蚀剂层保护基板的其他部分免受化学蚀刻过程的影响。TOKYO ELECTRON MARK-8光致抗蚀剂单元涉及一个两步过程，首先是在基板上沉积一层非常薄的光致抗蚀剂。在使用光致抗蚀剂之后，MARK-8台机器将光致抗蚀剂暴露于预定波长的光下，从而导致光致抗蚀剂内部发生化学变化，使其能够根据光致蚀剂涂层的厚度进行抗蚀性或允许蚀刻过程。随后在基板上进行图样蚀刻，采用高精度光束聚焦，这是由于光刻工具采用了最先进的技术MARK8可能的。即使采用复杂的图样和形状（如集成电路和微电子器件中的图样和形式），基板材料也能得到很高的保护，免于蚀刻。此外,TOKYO ELECTRON MARK8资产为用户提供了光刻胶解决方桉中的多种选择,使用户能够精确定制其应用程序以获得最佳效果。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON MARK8是一种顶级的光刻胶模型，它允许将复杂的图样和形状精确蚀刻到硅或金属等基板上。光致抗蚀剂沉积和光照的两步过程导致了光致蚀剂层的化学转化，允许或防止蚀刻，而TEL Mark 8先进的光束聚焦能力确保了蚀刻过程以极高的精度进行。Mark 8以其广泛的光刻胶溶液，是寻找可靠、高精度蚀刻其基板的用户的首选。
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