二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216917 待售

TEL （TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8）是一种先进的光刻系统,提供最新的光刻实用程序。凭借其可配置的波前校正能力，该系统能够在半导体晶片上产生高度精确的图样。自动化操作有助于对齐迭加、迭加完整性测试和自动对焦。TEL MARK8还为步进辅助模式生成提供支持，能够微调子分辨率网格，这对于半导体行业的微处理极为有用。TOKYO ELECTRON MARK-8配备了两个照明器，主照明器，和OPT模式。主照明器允许各种石英、石英卤素、漫射和激光照明源用于高分辨率抗蚀剂。OPT模式具有一组专门的光源，提供整个晶片的图像光，比主光源更高的效率和均匀性。TEL Mark 8为开发和传输光刻胶图桉提供了多种选择。利用其精确成像套件，图样可以直接发展成光刻层，从而消除了对预镀步骤的需要。此外，正或负光致抗蚀剂可以通过基板转移套件从主抗蚀剂层转移到底层基板。TEL MARK-8提供了一系列功能来促进流程优化。优化能力的例子包括优化曝光时间、可变曝光剂量和精确控制曝光半径。该系统还提供可自由定义的除粒、半导体晶片清洗和自旋涂层工艺配方。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8为用户留下了21世纪半导体生产所必需的高品质图像。它不仅在光刻过程中对图像进行光学微调，而且为用户提供适应不断变化的行业趋势所需的灵活性。其自动化功能包括图像重迭校正、迭加控制和光刻工艺优化。此外,MARK8的可调光源和图像数据传送技术使用户能够以卓越的吞吐量生成精确图像。