二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9233994 待售
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ID: 9233994
晶圆大小: 8"
System, 8"
Configuration:
SCR
(2) Coater
(2) Developer
DUV Capable
NIKON Stepper interface
(4) RRC (IWAKI T‐100) pumps per coater
(2) E2 Nozzles per developer
(2) Chemical cabinets / TC Racks
SHINWA T&H Unit.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蚀剂设备是半导体工业中常见的用于薄膜沉积过程的最先进的实验室设备。该系统有一个自动晶片装载机,一次最多可容纳200个晶片,还有一个扫描台,可以进行晶片旋转和精确的晶片定位。此外,TEL MARK8还配备了精确沉积调节计时器,实时监测沉积过程的高分辨率显微镜,以及在微观层面建立复杂薄膜结构组合的各种光刻储层。TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Unit通过激光制导传感器技术和机械化工艺相结合,能够在半导体晶片上准确高效地沉积光敏材料薄膜。为了达到理想的效果,机器利用真空室内的沉积枪阵列,将光敏材料精确地沉积在晶圆上的单层中。对火炮进行调整,使其利用真空压力、精确的攻角和变化的速度,在沉积光敏材料时提供高精度和重复性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8工具所使用的真空室使使用者在沉积过程中能够达到最佳的沉积均匀性和温度控制。此外,TEL MARK-8能够通过使用可调节的喷嘴速度和软件可控制的快门机构,为每个沉积枪提供均匀的涂层厚度。由于这种精确的沉积技术,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Asset可以生产用于数字设备、计算机和其他消费电子产品的高质量芯片组和集成电路。MARK-8光刻胶模型提供了一套广泛的工具和资源,以实现高效和可靠的薄膜沉积过程。TOKYO ELECTRON MARK8设备具有精确优化沉积速度和厚度以及精确监测半导体晶片生长的能力,具有极好的重复性和小于0.1纳米的方差。该系统为优化半导体光刻和沉积工艺提供了可靠、经济高效的方法,从而生产出质量更高的芯片组和电子元件。
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