二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237072 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9237072
晶圆大小: 5
优质的: 1997
Track system, 5" 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款专为创造高精密微元件而设计的光刻设备。该系统利用一个获得专利的原位掩蔽室来实现纳米尺度特征的生成。对于涉及制造微机电系统(MEMS)和半导体芯片的应用尤其有用。TEL MARK8单元允许用户精确控制抵抗模式的细节,允许创建准确的特征,同时最大限度地减少由于暴露对晶片的伤害。该机的最大分辨率为0.5 μ m,具有三轴龙门运动工具,可确保掩模和晶圆的精确对准。这有助于在抗蚀层中实现模式的准确定位。资产的核心是高功率宽带激光源,它能够快速、准确地曝光抗蚀层。这种激光源还有助于在整个生产过程中保持一致性,并且在必要时可以改变曝光参数,以产生高度精确的蒙版和晶片。此外,该模型还具有一个原位清洁模块,旨在提高抗蚀剂的质量。除了掩蔽和晶圆清洗功能外,TOKYO ELECTRON MARK-8还为用户提供了在制造过程中监视和维护腔室内适当条件的选项。这有助于确保最高质量的结果和快速的制造周期。总体而言,MARK8为用户提供了创建微型组件的高效平台。凭借其获得专利的原位掩蔽室、强大的激光源等特点,是实现微制造最高质量的理想设备。它易于使用和控制,对于任何需要精密生产元件的用户来说,都是一个极好的选择。
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