二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237074 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是为制造半导体器件而设计的高度先进的光刻设备。该系统采用高分辨率、高对比度的高级成像光学、先进的图像分析算法和精确的阻挡传送系统，使光刻工艺比传统的光刻方法更快、更高效、更具成本效益。该装置被设计成集成到各种光刻和蚀刻工艺中，从小规模的光掩模制造到大规模的生产作业。高性能光学和快速数据处理相结合的图像处理使机器能够提供精确的对准和快速的光敏曝光。它支持"step-and-repeat"和"overlay"功能,这些功能允许连续处理多个曝光字段,然后进行组合以提高模式精度。该工具采用的高级图像分析算法采用复杂的照明技术，如倾斜照明，以提取高对比度的图像，用于精确的曝光光抗蚀剂。TEL MARK8还可与先进的沉积资产结合使用,以实现高效的防腐涂层和图样设计,从而进一步提高其在高通量工艺中的应用。TOKYO ELECTRON MARK-8坚固的机械设计确保了一致可靠的性能。模块化设计允许方便维护，模型可以适应不同的工艺要求。该设备的设计目的是提供较低的占用空间,从而降低系统的总成本。Mark 8除了拥有先进的光阻单元外，还支持先进的自动化和控制系统。此集成为客户提供了控制光刻工艺各个方面的完整系统工程工具。集成自动化解决方桉通过简化不同光刻和蚀刻工艺之间的复杂交互,进一步增强了功能。综上所述，TOKYO ELECTRON MARK 8是一款高度先进的光刻机，旨在促进光刻工艺的高生产率和成本效益。它提供高分辨率的成像和精确的阻挡传送,以及用于集成过程控制的高级自动化和控制解决方桉。