二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237369 待售
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已售出
ID: 9237369
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
(2) Coater system, 8"
Main controller version: 9821KE
CSB: (3) Loaders
COT (Coat process station):
3 Nozzles
(2) RRC Pumps
Solvent automatic supply: (2) Tank auto supplies, CCSS
Side rinse (EBR)
Back side rinse (BSR)
Dev solution automatic supply: Local
(6) LHP (Low temperature hot plate stations)
Chemical box
Temperature controller
T&H
C/S:
CRA Motor
Mapping sensor
Tweezer
Alarm tower
Display panel
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
COT Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
DEV Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
PRA:
Pincette
Sensor
Bake:
(6) HP Units
(4) Cool units
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种电脑控制的光致抗蚀剂设备，设计用于在硅片表面施加均匀的材料层。该系统由激光照射单元、光头、采样级和计算机控制机组成。激光照射工具包括泵浦激光二极管和泵浦激光腔。当将光信号应用于二极管时，激光器发出一束狭窄的红外光，然后被送入激光腔，使信号进一步放大到原来功率的许多倍。然后将放大后的信号重定向出空腔并进入光头。光头包括几个光学透镜和一个分束器，它决定输出光束的形状和大小。样品级用于保持晶片，并连接到一个计算机控制的资产，该资产协调舞台和激光的精确运动。计算机控制的模型可以改变激光的曝光，这取决于所使用的光敏材料的性质。这种设备还可以改变光束的大小和形状，以确保光刻胶的严密曝光。曝光后，光致抗蚀剂从晶片中取出，晶片准备进一步处理。TEL MARK8是一个高度先进的计算机控制的光刻系统，能够在硅片上产生精确而均匀的层。该单元用于晶圆制造过程中，以便构建用于许多不同行业的复杂电路和组件。其精确度使其成为多种类型应用的理想工具。
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