二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9269843 待售
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ID: 9269843
优质的: 1996
(1) Coater / (2) Developer system
Left to right
AD
(7) HP
(3) COOL
WEE
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蚀剂设备是为生产线上的光刻应用而设计的先进光处理平台。它旨在使薄膜光刻胶沉积到设备基板上,并具有精确的位置、清晰度和可重复性。TEL MARK8系统利用最新的技术进步来实现其超高精度。它具有先进的闭环自动对焦单元和高分辨率光学元件,可在设备边缘保持最佳聚焦。该机还具有改进的多线曝光工具,具有多种照明模式,便于使用,并具有多种设备形状和尺寸。TOKYO ELECTRON MARK-8还配备了一个综合校准资产,以确保最佳的基板对准,以及一个可用于微调对准的基于软件的覆盖。相片处理平台还提供了先进的胶片扫描功能,允许在晶圆进行进一步的处理之前进行精确的计量检查。这样可以确保设备基板在进入生产过程的下一步之前具有可接受的质量。MARK-8还以强大的自动化模型为核心进行设计,使制造商能够轻松地将其纳入其现有的生产过程。该设备在沉积速率方面拥有较高的速度水平,是各种半导体器件的理想选择,包括内存芯片、逻辑芯片和显示器件。这使得TOKYO ELECTRON MARK8光刻胶系统成为任何寻求可靠光刻胶沉积和计量解决方桉的公司的一个有吸引力的选择。
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