二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9275964 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种光阻设备，设计用于半导体芯片制造中的电路图样。它使用UV光源在芯片基板上曝光感光膜掩模，在该基板上创建所需的电路模式。然后用化学显影剂蚀刻暴露的光刻胶薄膜，去除不必要的材料，在底层基板上产生电路模式。TEL MARK8具有高分辨率激光源,能够提供0.3微米或更高的线宽。TOKYO ELECTRON MARK-8的成像系统採用多柱投影单元，有数列，让大部分线型都能够准确快速地产生。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8可以使用种类繁多的遮罩形状和图桉，而这些遮罩对于不同的衬底图桉可以快速、方便地进行更换。TEL Mark 8使用多种工具来帮助确保制造设备的最高质量。这些工具包括扫描电子显微镜，帮助扫描暴露的底物检测缺陷。自动曝光控制允许自动修正曝光特性，确保曝光过程的高精度。自动对齐机使掩模与基板精确对齐，刀具可以在X或Y方向上轻松对齐。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8可用于广泛的应用，如半导体逻辑、内存、模拟和功率IC。TOKYO ELECTRON Mark 8对制造工艺进行了严格的控制，提供了更小的线形尺寸和优异的光刻精度的高质量结果。光刻胶资产可靠、可重复、易用，是半导体制造的首选。
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