二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9276285 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款设计用于半导体制造的光阻设备。它是一个在平版印刷过程中使用的技术系统，用于将形状从制图设备或标线转移到晶圆上。TEL MARK8是这一代产品中最先进的光致抗蚀剂装置,采用了几种先进的技术来确保最可靠地生产到纳米级的特性。这台机器由两个独立的组件组成--一个光对齐器和一个曝光工具--这两个组件都是由一个先进的计算机处理单元控制的。光对齐器利用激光扫描资产，用于创建分辨率非常好的20纳米或更小的图样模板。然后将此模板送入曝光模型,该模型利用UV光源将形状"燃烧"到晶圆上。TOKYO ELECTRON MARK-8配备了先进的软件，可以控制过程的分辨率并确保对每个创建的特征进行质量控制。它使用分布式光学校正设备和多级阵列生成来实现对大量零件的一致精细分辨率。系统还可以调整曝光时间等工艺参数，以补偿单元的光学失真。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8采用两种不同的工艺--i-Line工艺和EUV工艺--进一步优化光刻工艺。i-Line工艺使用范围在13.5到13.6纳米之间的紫外线光源，创建尺寸非常细小的线条到3纳米的结构。EUV工艺的特点是极紫外线光源，波长范围为13.5纳米，更短。这个过程创造出更精细的结构，分辨率为0.3纳米。MARK8是一个先进的光刻机设计，使可靠和一致的生产半导体特性与纳米级分辨率。它利用几种独特和先进的技术来创建模板，调整工艺参数，并优化光刻。该工具可以在i-Line工艺中产生分辨率低至3纳米的特征，甚至在EUV工艺中产生更精细的0.3纳米分辨率。