二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280944 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是为生产半导体而设计的最先进的光刻设备。该系统能够在晶片上生成非常高分辨率的图样，从而能够制造出非常精细的电子结构。该单元使用电子束将晶圆上的敏感膜涂层暴露在光束上。该膜由最常见的由聚甲基丙烯酸甲酯、无定形二氧化硅和其他活性隔离材料组成的光致抗蚀剂组成。电子束与抗蚀剂相互作用，导致其改变性质。因此，晶片上的抗蚀层上形成了一个图样，可以用来构造电子器件，如晶体管。曝光过程从产生电子束的真空室开始。光束通过一个由柱子组成的机器，使光束在晶圆的厚度上被聚焦和控制。这是通过控制真空压力、电子能级以及有助于控制光束的电弧电压来实现的。曝光过程由一个电子控制单元调节，该单元既监控又调节曝光进度。此工具使用户能够输入诸如曝光能级、阻挡高度和晶圆温度等变量,从而使每次曝光都具有所创建电路的特定要求的最佳条件。资产配有晶圆处理单元，自动将基板装卸到模型中。这消除了手动处理的需要,减少了损坏、污染和错误对齐的可能性。整个设备是自动化的,这意味着除非另有需要,否则用户无需在曝光过程中出现。最后,系统能够分析、存储和总结曝光结果。这使用户能够验证是否符合预定的规格,从而提高电路配置文件的准确性。总的来说，TEL MARK8是一个先进的光刻装置，为用户提供了一个可靠而有力的手段，为各种应用创造高质量和准确的电路模式。