二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9305864 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是专为高分辨率、高精度光刻而设计的光刻设备。它提供了强大的功能组合,能够高效生产复杂的集成电路,包括亚微米分辨率、先进的光掩模对准系统和扩展的曝光范围。该装置采用了最先进的抗蚀剂材料和工艺，以确保精确的特征定义，而预先烘烤的光掩模技术则确保了高性能的抗蚀剂。全场扫描机可确保精确对准和精确的光学曝光,而扩展动态范围（EDR）功能可提供卓越的图像保真度。TEL MARK8利用先进的步进工具来精确定义特征,并使用超精确的锚点对齐功能来精确定位亚微米特征。资产还包括用于精确对准和镜头对焦的自动对焦模型。此外，该设备还包括一套用于测量镜头性能和轮廓调整以及控制抗蚀剂轮廓特性和其他参数的工具和技术。系统硬件包括一个向晶片提供抗蚀剂的抗蚀剂传送单元，以及一个用于控制对准和抗暴露的扫描控制单元，允许精确的特征控制。高清光学模块包括12极镜机，以及双杆球形加热器、紫外线发射器、激光点监视器、图像查看器。集成协议生成器能够完全控制和定制光刻过程中使用的参数，而应用软件提供强大的数据分析功能。TOKYO ELECTRON MARK-8还提供多种模式的精密计量，包括亮场成像、扫描电子显微镜（SEM）、反射图像分析和可变角度光散射法。所有这些计量技术都是实时提供的,并且在适合最苛刻的生产设计的体系结构和吞吐量级别上得到支持。总体而言,MARK-8光刻工具是一种功能强大、用途广泛且可靠的机器,可提供卓越的性能和精确的特征分辨率。支持所有最先进的光掩模技术,并扩展了动态范围,非常适合紧密阵列电路和大批量生产。