二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314251 待售

ID: 9314251
晶圆大小: 4"
(3) Coater system, 4".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻胶设备是开发和制图光刻胶的完全集成系统。它提供了业界领先的准确性和可重复性,即使是高长宽比的细腻结构也能实现阵列化。该单元结合了最先进的硬件和软件组件,为图样化光刻胶处理提供了全面的解决方桉。TEL MARK8利用具有精确线性驱动的电动级和高分辨率数字显微镜来实现光刻材料的精确定位和操作。这个阶段可以精确地重复模式和动作,以增加吞吐量。该阶段通过控制软件进行计算机控制,简化了工艺参数的设置和分析。该机还包括精密紫外线(UV)照射和光敏材料图样光学。TOKYO ELECTRON MARK-8具有一个多波长的光引擎与电动衰减器控制曝光剂量。轻型引擎还有一个可调节的准直仪,用于缩小曝光场,以及一个快门,用于爆破模式曝光。TEL Mark 8有一个集成的软件包,其中包括用于控制曝光和光学参数的软件,以及标准的可视化、算法、图形和分析工具。还包括功能齐全的工作规划、配方编辑和数据管理。该软件的设计符合用户的生产和研究需求。TEL MARK-8工具设计用于抗蚀剂、丙烯酸和其他感光聚合物等感光材料。它还与旋转、喷雾、气溶胶涂层等各种图桉技术兼容,可用于正负图桉。该资产的开发重点是过程控制、精度、质量和速度。这允许用户在更短的时间内获得更好的结果。所有这些元素结合在一起形成一个先进的光刻胶模型,能够产生精确和可重复的模式,即使在纳米尺度。Mark 8光刻胶设备为各种行业的研究和生产模式应用提供了理想的解决方桉。
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